设计一种异形拟悬臂梁结构的螺旋线形弹性固支单向阀，并把这种单向阀安装哈默纳科中空谐波减速机CSF-8-100-2XH-F在有阀压电泵的泵腔内形成螺旋线形阀压电泵，分析螺旋线形阀压电泵的工作原理，然后依照泵内部能量传递的路径建立压电驱动(电压、频率) 为输入与泵流动(流量、压差)为输出之间的关系式， 最后加工试验样机，哈默纳科中空谐波减速机CSF-8-100-2XH-F并进行性能测试试验，试验验证螺旋线形阀压电泵的有效性和理论分析的正确性。

压电泵用螺旋线形弹性固支阀(以下简称螺旋线形阀)，由阀体、定位器和螺旋线形曲臂(以下简称曲臂)组成，阀的制作材料为弹簧钢片。为螺旋线形阀压电泵的结构示意图。该泵主要包括压电振子、泵盖、泵体、螺旋线形阀、底座和进/出水管。在泵体的进口和出口处用螺钉通过定位器分别安装有一对相互倒置的螺旋线形阀，阀体与泵体的进口孔和出口孔相对应哈默纳科中空谐波减速机CSF-8-100-2XH-F， 安装在泵体进口处的螺旋线形阀为吸入阀，安装在泵体出口处的螺旋线形阀为排出阀。