任何一台机器人即使在同一环境、同一条件、同一动作、同一命令之下，每一次动作的位置也不可能完全一致。例如，对某一个型号的机器人的测试结果为：在20 mm/s、200 mm/s的速度下分别重复10次，哈默纳科HD精度过滤设备谐波传动 HPN-40A-10-J8JG其重复定位精度为0.4 mm，，则重复定位精度为 ±0.2 mm，指所有的动作位置停止点均在以平均值位置为中心的0.2 mm范围内。
L-1000型CO2气体激光切割机器人是极坐标式5轴控制机器人，配用C1000～C3000型激光器。光束经由设置在机器人手臂内的4个反射镜传送，聚焦后从喷嘴射出。反射镜用铜制成，表面经过反射处理，使光束传递损失不超过0.8%，且焦点的位置精度较高。
为了防止反射镜受到污损，光路完全不与外界接触，同时还在光路内充入经过滤器过滤的洁净空气，并具有一定的压力，从而防止周围的灰尘进入。