国国家实验室用水规格 GB6682-92
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名 称 |
一 级 |
二 级 |
三 级 |
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PH 值范围（ 25℃ ） |
- |
- |
5.0-7.5 |
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电导率（ 25℃ ） ,uS/cm ≤ |
0.1 |
1.0 |
5.0 |
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比电阻（ M Ω .cm.25℃ ） ≥ |
10 |
1 .0 |
0.2 |
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可氧化物质 < 以（ 0 ）计 > ， mg/L |
- |
0.08 |
0.40 |
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< 吸光度（ 254nm,1cm 光程） ≤ |
0.001 |
0.01 |
- |
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蒸发残渣（ 105±2℃ ）， mg/L≤ |
- |
1.0 |
2.0 |
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可容性硅 < 以（ sio 2 ）计 > ， mg/L< |
0.01 |
0.02 |
- |
中国国家电子超纯水规格 GB/T1146.1-1997
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级别、指标 |
EW-I |
EW-II |
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电阻率 MΩ.cm （ 25℃ ） |
18 以上（ 95% 时间）不低于 17 |
15 （ 95% 时间）不低于 13 |
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硅 ≤μg/l |
2 |
10 |
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>1μM 微粒数 ≤ 个 /ml |
0.1 |
5 |
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细菌个数 ≤ 个 /ml |
0.01 |
0.1 |
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铜 ≤μg/l |
0.2 |
1 |
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锌 ≤μg/l |
0.2 |
1 |
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镍 ≤μg/l |
0.1 |
1 |
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钠 ≤μg/l |
0.5 |
2 |
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钾 ≤μg/l |
0.5 |
2 |
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氯 ≤μg/l |
1 |
1 |
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硝酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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磷酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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硫酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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总有机碳 ≤μg/l |
20 |
100 |