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产品价格：1   元(人民币)
上架日期：2012年11月7日
产地：日本、中国
发货地：苏州  (发货期：当天内发货)
供应数量：不限
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苏州捷士佳自动化设备有限公司

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品牌：A产地：日本、中国
价格：1人民币/套规格：001

简要说明：在线尺寸测量

详细介绍：

在线尺寸测量

高速、高分辨率，同时保持稳定，超精密测量。理想的精密阶段，半导体检验/制造系统，以及超精密加工机。


?高分辨率的规模与信号的波长比光波的干涉仪系统approx138nm，
?稳定性高，不受湿度，空气压力和空气的扰动
?参考点精度：±0.1μ米
?准确度：±0.04μ米或更好（测量长度：40毫米）
?完全非接触式设计，返回错误几乎是消除。
?特殊磁性和真空兼容型号
?使用低膨胀玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（测量长度：10至420毫米）
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