详细介绍：SpecEl 椭偏仪
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SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。 |
集成的精确测量系统
SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，并且折射率测量可达0.005%。
SpecEl可通过电话问价。
SpecEl软件及Recipe配置文件
通过SpecEI软件，你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析，所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后，你可以选择不同的recipe来执行你的实验。
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SpecEI软件截图显示的Psi及Delta值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。
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配置说明
| 波长范围: |
380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
| 光学分辨率: |
4.0 nm FWHM |
| 测量精度: |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: |
70° |
| 膜厚: |
单透明膜1-5000 nm |
| 光点尺寸: |
2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选) |
| 采样时间: |
3-15s (最小) |
| 动态记录: |
3 seconds |
| 机械公差 (height): |
+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
| 膜层数: |
至多32层 |
| 参考: |
不用 |
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