详细介绍:
供应万濠Rational测量型金相显微镜MTM-2010M
产品用途
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
产品特点
1.X、Y、Z轴0.5μm分辨率;
2.可选配白光纳米检测模组;
3.Z轴粗调/微调旋钮;
4.同轴表面光/底光测量;
5.内建偏光量测光学模块;
6.可量测透明材质纳米级高度差
技术规格参数:
型号
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MTM-1510M
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MTM-2010M
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工作台
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金属台尺寸(mm)
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210*160
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260*160
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玻璃台尺寸(mm)
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354*228
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404*228
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X,Y运动行程(mm)
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150*100
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200*100
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X,Y,Z分辨率
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0.5μm
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X,Y坐标示值误差
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E1XY=(2.5+L/100)
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外形尺寸
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590*560*850
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590*560*850
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仪器重量(kg)
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100
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110
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影像系统
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彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件
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显微镜系统
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目镜:10倍
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滤光片:红,蓝,绿,白
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测量模式:反射,透射,偏光
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5孔物镜转换器
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物镜放大倍率误差
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包括畸变在内的放大率误差≤0.008%
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总放大倍数
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50X——500X
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照明系统
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透射照明光源:白光LED,亮度可调
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同轴照明光源:卤素灯,亮度可调
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物镜
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倍率
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5X
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10X
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20X
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50X
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工作距离(mm)
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26.1
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20.2
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8.8
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3.68
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高度量测模块(选配件)
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光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配)
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倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm
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电源功耗
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110V—220V 50/60Hz <60W
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单层透明膜厚度测量模式
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高精度测量模式
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快速测量模式
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厚度测量范围
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100nm-300nm
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300nm-500nm
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500nm-3μm
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3μm-20μm
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分辨力
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5nm
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5nm
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7.5nm
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0.1μm
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