详细介绍:
北京星微自动化科技有限公司
樊振华 总经理 手机:18201099680
邮箱:18201099680@163.com QQ: 757959061 微信:18201099680
网址:www.xivimotion.com
-
行程:25 to 85mm;
-
分别率:1um/步;
-
无回滞,刚性强;
-
承载能力:50kg;
-
可堆叠为X Y Z三轴;
-
真空度: 1 x 10-10 mBar;
-
烘烤温度: 200°C;
-
交叉滚子轴承
-
防辐射: 1 x 10~6 Gy;
-
可根据客户要求定制;
-
规格
|
单位
|
LTXL
|
LTXH
|
行程
|
mm
|
25 / 55 / 85
|
25 / 55 / 85
|
整步分别率
|
μm
|
5
|
1
|
最大速度
|
mm/s
|
15
|
4
|
推荐真空环境中速度
|
mm/s
|
2
|
0.8
|
重复定位精度
|
μm
|
1
|
0.2
|
水平负载能力
|
kg
|
50
|
50
|
负载力矩
|
Nm
|
<20
|
<20
|
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
|
kg
|
3
|
10
|
间隙
|
μm
|
0
|
0
|
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)
|
μrad
|
<25
|
<25
|
Roll Compliance
|
μrad/Nm
|
5
|
5
|
Pitch & Yaw Compliance
|
μrad/Nm
|
2
|
2
|
直线度
|
μm
|
<1.3μm / 100mm
|
<1.3μm / 100mm
|
使用电机
|
|
D35.1
|
D35.1
|
真空度
|
mBar
|
1 x 10-10
|
1 x 10-10
|
最大温度
|
°C
|
200
|
200
|
MTBF (5kg 负载和30% 占空比)
|
hrs
|
15,000
|
10,000
|
|