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1200℃井式气相沉积炉放大图片

产品价格:面议   元(人民币)
上架日期:2014年5月24日
产地:北京
发货地:北京  (发货期:当天内发货)
供应数量:不限
最少起订:1台
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西尼特(北京)电炉有限公司

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  详细说明  
品牌:西尼特产地:北京
价格:面议人民币/台规格:CVD-4-12

简要说明:西尼特牌的1200℃井式气相沉积炉产品:估价:面议,规格:CVD-4-12,产品系列编号:齐全

详细介绍:

  产品用途:

CNT生产的CVD(真空化学气相沉积炉)是一种用于在基片上生成高质量TiCSiCSiO2Si3N4 专用设备。淀积温度能够较高 (1001200℃可调 ) ,它已成为机械制造工业、冶金工业、光学工业、半导体工业等领域微电子和光电子领域科研和生产不可缺少的设备。
 
产品结构:

CNT公司CVD设备主要由全真空专用不锈钢腔体,分子泵或扩散泵高真空系统,电源,生长机体载体及温控系统,独立排气和生长压力调节系统,冷却循环水辅助设备等组成。整机结构紧凑、操作方便、抽真空速度快。此设备控制系统采用逻辑按钮手动控制与工控机自控控制可选。实现真空抽气和镀膜工艺一体化功能。此设备可用于制作SiO2Si3N4、非晶SiH、多晶SiSiCWTi-SiGaAsGaSb等介电、半导体及金属膜等。


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