| 详细介绍：
日本KOFLOC流量计
标准 质量流量控制器
型号3660系列
型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
特点
□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
□通用的常闭型阀门确保了安全
□使用电磁执行器保证了高效的可靠性
□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
技术指标
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F.S.量程
(N2换算)
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10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
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阀门种类
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常闭电磁阀
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控制范围
应答性
精度
重复性
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2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
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设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
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±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
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±0.5%F.S.以内
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压力
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耐压
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980kPa
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操作
差压
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F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
5<F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa
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温度
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使用温度
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5°C-45°C
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连接气体
部分材料
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SUS316、氟橡胶、
氯丁橡胶（选购件）
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电力连接
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Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI
标准
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输入流量信号
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0-5VDC
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输出流量信号
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0-5VDC
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需求电源供给
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+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA
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