简要说明：福润德牌的专业生产太阳能扩散炉产品：估价：10000，规格：完善，产品系列编号：齐全

太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。

扩散炉技术指标： 
     t可处理硅片尺寸：212英寸
     t外型形式：卧式14管结构
     t工作温度：200℃1300℃
     t恒温区长度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
     t单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃/24h
     t温度斜变： 可控升温速率15℃／min
     t可控降温速率： 5℃／min
     t送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟
     t气路系统：15路工艺气体／管
     t气体控制：全自动MFC
     t控制方式：工控机、触摸屏