详细介绍:
联系人:樊振华 手机:18201099680 Q Q: 305786592 邮箱:18201099680@163.com
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行程:25 to 85mm;
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分别率:1um/步;
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无回滞,刚性强;
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承载能力:50kg;
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可堆叠为X Y Z三轴;
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真空度: 1 x 10-10 mBar;
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烘烤温度: 200°C;
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交叉滚子轴承
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防辐射: 1 x 10~6 Gy;
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可根据客户要求定制;
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规格
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单位
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LTXL
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LTXH
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行程
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mm
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25 / 55 / 85
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25 / 55 / 85
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整步分别率
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μm
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5
|
1
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最大速度
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mm/s
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15
|
4
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推荐真空环境中速度
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mm/s
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2
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0.8
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重复定位精度
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μm
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1
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0.2
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水平负载能力
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kg
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50
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50
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负载力矩
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Nm
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<20
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<20
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轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
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kg
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3
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10
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间隙
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μm
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0
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0
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转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)
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μrad
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<25
|
<25
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Roll Compliance
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μrad/Nm
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5
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5
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Pitch & Yaw Compliance
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μrad/Nm
|
2
|
2
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直线度
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μm
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<1.3μm / 100mm
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<1.3μm / 100mm
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使用电机
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D35.1
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D35.1
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真空度
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mBar
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1 x 10-10
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1 x 10-10
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最大温度
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°C
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200
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200
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MTBF (5kg 负载和30% 占空比)
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hrs
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15,000
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10,000
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