简要说明：其他牌的SU8胶制作不锈钢钢板网气体探测器的研究和讨论产品：估价：1，规格：合格，产品系列编号：齐全

　　    我厂针对SU8胶制作不锈钢钢板网气体探测器研究结果及讨论
    利用SU8胶制作不锈钢钢板网气体探测器工艺复杂，而且难以实现网片与金膜的平行;而干膜有恒定的厚度值，其缺点在于干膜本身比较薄，在多层压膜的同时容易产生气泡，影响柱子的结构，增加打火的几率。另外，由于网丝是夹在胶膜中间的，在曝光时，需要完全曝光的区域会由于网片的存在而曝光不充分，另外，柱子及周围的边框会因此而变得不整齐，出现大At的锯齿，这样的锯齿在加高压时比较容易产生尖端放电。这也是利用干膜制作钢板网气体探测器的缺点之一。
    在实验中，采用了编织丝网和电铸Ni网两种丝网，其两者的不同在于，网丝是由极细的单根钢板网网丝编织而成，其厚度为50-60cm,本实验用的编织丝网厚度为50cm，而钢板网的制作是电铸而成，其厚度可以做到15-205m，而且此种方法制作的Ni网整体都是一个厚度，不存在编织网搭接部分过厚，其他部分过薄和搭接点因接触不实而引起打火的现象。
    实验证明，相同的网片，利用电铸Ni网制作出来的钢板网气体探测器性能要优于编织丝网。最后，把制备好的微网气体探测器用Fe的x射线源(能量为5.9keV)对其进行性能测试，实验证明，利用微电子手段制作钢板网气体探测器是可行的。

    制作的钢板网气体探测器的有效工作面积为3cmX3cm，该网片气体探测器距离实际应用还有一定的差距，增益和能量分辨率都难以达到实际应用的要求。

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