简要说明：其他牌的怎样制作铝板网气体探测器？产品：估价：1，规格：合格，产品系列编号：齐全

　　   我们在利用SU8胶制作铝板网气体探测器时，其实他是一种紫外敏感的厚光刻胶。近年来由于其优秀的化学、热学以及机械稳定性而越来越得到广泛的应用。目前已应用于MEMS，包括MOEMS、微流体、机械、传感器、执行器、生物芯片、微齿轮以及校准工具等。
    利用SU8胶制作微网气体探测器的特点是，此种胶非常黏稠，可以制作出大深宽比的样品，非常符合本器件的要求：
    (1)首先，在基底上电镀一层种子层Cr／Au，然后旋涂一层AZ胶；
    (2)用带有丝网图形的光刻版对其进行光刻，用NaOH溶液显影，以形成丝网的结构；
    (3)以Cr／Au为种子层，电铸Ni；
    (4)去除光刻胶，制成网丝；
    (5)在做好的网片上旋涂SU8胶，厚度为100tim；
    (6)曝光，用SU8胶专用显影液显影，形成外框和柱子结构；
    (7)去除基底及Cr／Au；

    (8)利用环氧树脂胶把镀好金膜的PCB版粘到已经做好的柱子上。由于利用SU8胶制作铝板网气体探测器的工艺复杂，虽然网丝与柱子有边框固定，但比较软，难以达到Ni网与PCB金膜的面完全平行，这样会导致网丝与基底的距离不恒定而引起放电。干膜是一种固态光刻胶膜，有恒定的厚度值，利用干膜制作铝板网气体探测器，在加热到所需温度的情况下会变成固液混合的黏稠状态，很好地贴附在基底上。它是一种三明治结构，中间是胶膜，上下都各有一层保护膜，使用时先把一层保护膜揭开，把露出胶膜的一面贴在基底上，在其溶解的温度条件下，以1．8m／min的速度将其粘贴到所需的片子上，另一层保护膜待曝光后显影前再揭掉。

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