简要说明：D500i凹坑仪 凹坑仪设备建立了TEM样品制备机械预减薄的标准。其凹坑方法已经成功运用于许多不同的材料，如硅、镓砷化合物、锗、蓝宝石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半导

D500i凹坑仪

凹坑仪设备建立了TEM样品制备机械预减薄的标准。其凹坑方法已经成功运用于许多不同的材料，如硅、镓砷化合物、锗、蓝宝石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半导体、铝合金、陶瓷、碳和碳复合物。

规格

大小：

长      27" (68.6 cm)           宽   14" (35.6 cm)

高     13" (33.0 cm)           重    70 磅 (32 kg)

电源：

标准       120 VAC, 60Hz      可选         240 VAC, 50Hz

替换的保险丝：

标准               120 VAC 2A     可选               240 VAC 1A

公差：

1）电子：

Z 偏移量：     精确 1μm

范    围:：      2000 μm

Z 终止精确度：

Tool 1i/3i ≤±1 μm   Tool 2i/4i ≤±2 μm

工具压力： 1-200 gm / 1 gm steps

平    衡： 灵敏度 < 1 gm

工具速度： 100 to 600 RPM, 恒速

样品压盘转速：10 RPM, 恒速                    

2）机械：

工具传动轴：≤0.5 μm TIR*

工具：

1i/3i ±1 μm TIR2i/4i ±2 μm TIR                                       

压盘表面：垂直漂移 ≤0.5 μm TIR