X-Mill 精密研磨系统

X-Mill是Allied的新型自动精密研磨抛光系统，应用于微电子行业。在制样领域的应用：背面/正面失效分析，逆向工程、材料工程等。设置向导（在屏幕帮助菜单）设定：X-Y-Z启动/停止，X-Y研磨率，Z-力，Z-增量，铣削模式和工具叠加等。

特点：

l          闭环Z轴力控制（gF）。

l          闭环Z轴定位精度，0.1微米。

l          Z轴力控制自动监测X-Y研磨率。

l          闭环X-Y轴，伺服电机控制移动，1微米分辨率。

l          按照向导操作，不需要G-coding和编程知识。

l          自动化自调整升降台。

l          每个样品和设备命名，存储和调用存储程序。

l          12寸彩色液晶触摸屏，图形用户界面。

l          提供各类标准夹具，以及定制内部夹具，我们应用实验室不断发展抛光工艺。样品夹单独出售。

l          在美国设计制造。

机动水平位移台

水平位移台自动调节，是样品顶层表面与研磨面平行。可用来校正由于底座的蜡变化产生的倾斜，或感应区的样品（例如，模具在封装中）与模具上表面不平行。

各种耗材和安装/校准工具

水平位移台自动调节，是样品顶层表面与研磨面平行。用来校正样品由于底座上的蜡变化产生的倾斜，或当感应区的目标(例如，模具在封装中)与模具上表面不平行时

	描述
15-9000	X-Mill系统，115V。包括：#15-9125夹具（2’’×2’’），#15-92ASSORT耗材组合和安装/校准工具
15-9000-230	X-Mill系统，230V。包括：#15-9125夹具（2’’×2’’），#15-92ASSORT耗材组合和安装/校准工具

	描述
15-9150	自动水平位移台