DENSOKU日本电测荧光X线式膜厚计EX-731

タイプ 手動ステージ 自動ステージ
測定ヘッド部 サイズ(mm) 170 × 110 300 × 280
移動量 X(mm) 70 80
Y(mm) 70 60
Z(mm) 80(測定物の高さ最大150) 50
測定物高さ(最大) 80 (オプション150) 50
寸法(mm) 600(W)×465(D)×730(H)
重量(kg) 79 85
サンプル荷重(kg) 3 2
コンピュータ 寸法(mm) 本体182(W)×383(D)×372(H)
/モニタ412(W)×415(D)x432(H)
本体 6.8 / モニタ2.8
重量(kg) 3.4
電源 AC100V+10V
X線源 油浸式小型微焦点X線管
ターゲット:タングステン
管電圧50kV
管電流可変
照射方式 上面垂直照射方式
検出器 比例計数管
コリメータ 5種類(自動切換式)
10.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0Φmm
(オプション)
: 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,Φ
: 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5Φ
試料観察 CCDカラーカメラ
コンピュータ PC/AT互換式
17インチカラーモニター
プリンタ インクジェットプリンタ
測定対象 原子番号22 (Ti) ~82 (Pb)
原子番号21以下は吸収法にて測定可能
フィルタ 2種類(CO,Ni) 自動切換
測定可能範囲 原子番号22~24: 0.02~約20μm
原子番号25~40: 0.01~約30μm
原子番号41~51: 0.02~約70μm
原子番号52~82: 0.05~約10μm
検量線 検量線自動作成機能 マルチポイント検量線
補正機能 ベース補正
アプリケーション 単層めっき測定
2層めっき測定
3層めっき測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解ニッケル測定
測定機能 自動測定
出力様式設定
スペクトル測定
2点間距離測定
自動テーブル機能 測定位置(X-Y-Z)
同一パターン繰り返し機能
原点補正機能
測定位置確認機能
自動較正
データ処理機能 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、CP、Cpk
ヒストグラム
プロファイル表示
測定データ3次元表示
X-R管理図
安全機能 X線電源キースイッチ
フェールセーフ機能
その他の機能 ステージ座標表示
パスワード機能
装置保守整備