扩散炉炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。
可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，制作而成。
可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。

■扩散炉炉体材料:

★?? 炉丝：Φ6～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

★?? 绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。

★?? 保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

★?? 外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

★?? 热偶座：进口弹簧卡状固定座。

★?? 把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。

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■扩散炉炉体参数:

★?? 工作温度：?? ≤1300℃

★??? 恒温区长度： 500mm-1000mm

★??? 炉体内径：?? Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）

★??? 使用寿命：?? 规范使用寿命可达18个月以上（1200℃）

★??? 替代进口：?? 全方位配套

★??? 根据客户要求，加工定制各种扩散炉炉体、氧化炉炉体、LPCVD设备炉体、PECVD设备炉体、真空炉炉体及各种异型炉体加热器。