ASML 电源接口 4022.472.62893
ASML 电源接口 4022.472.62893
技术规格详解
型号与描述
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描述:ASML专用高可靠性电源接口模块,适用于极紫外光刻(EUV)设备及半导体晶圆处理系统,支持精准电源分配与实时监控功能。
电气参数
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浪涌保护:IEC 61000-4-5 4kV(线-线)/6kV(线-地)
机械特性
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尺寸:120mm(L)×80mm(W)×35mm(H)
环境参数
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抗震等级:IEC 60068-2-6(10g/11ms半正弦波)
监控功能
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通信协议:Modbus RTU(RS-485接口)
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报警阈值:可自定义(默认过流200A/过温85℃)
安全认证
应用场景
订购信息
注意事项
ASML 电源接口 4022.472.62893
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