5100系列质量流量控制器
5100系列质量流量控制器
产品价格：￥（人民币）
  • 规格：5100系列
  • 发货地：上海
  • 品牌：
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    商品详情

      5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。
      板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。

       通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应

      采用电磁铁电磁阀常闭阀

      由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低

      采用隔膜阀，减少死体积

      面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容


      技术参数：

      流量范围
      （N2转换20°C / 1 ATM）       		1SCCM~20SLM（任意条件选择）
      传感器方式 热绕组传感器


      阀门方式 比例螺线管阀门（未通电时关闭）
      控制范围 2~100％（F.S.）
      响应速度 1秒内（±2％F.S.内）
      准确性 ±1％F.S.
      温度系数 0.1％F.S./°C（15~35°C）
      再现性 ±0.2%F.S.
      操作压差范围 F.S.≤5SLM50. 300kPa
      F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
      选项：低压差规格（LP）可根据条件制造
      可工作压力 300kPa（G）以下
      耐压 980kPa（G）
      He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
      允许周围温度 0~50℃
      允许环境湿度 10~90%RH（无结露）
      气体接触材料 车身SUS316L
      隔膜SUS316L
      阀座PTFE
      密封材料SUS316L，Ni，Au
      选项：SUS密封（SU），内部磨削规格（KP）
      电气连接 Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准）
      流量设定
      输入信号       		0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上）
      流量输出信号 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
      所需电源 +15 VDC（±5％）100 mA，
      -15 VDC（±5％）200 mA
      配件（车身尺寸） 标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL
      重量


      约1000g


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