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在真空实用技术,真空的获得和测量是最重要的两个方面。在一个真空系统中,真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。工业实用中,真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
每套真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。随着电子技术和计算机技术的发展,各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合,具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
真空系统自启动后,全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中,真空系统内各处的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始终在其允许范围内上下波动,其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到流程工艺。
当需要获得高真空度时,通常需要在真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。
应用行业:电工、纺织、CNC雕刻机、真空成型机、折页机、爆光机、计算机、半导体运用、线路板、电池、电容、装订机、照相制版机、冷冻空调制程真空、包装机、变压器、光学镜片、自动注型、聚氨脂工艺、标签粘贴机、晒版机、线路板机真空升降机、真空吸盘、印刷机、VCD&DVD光盘表面真空溅镀、工业炉、冶炼和热处理、金属真空镀膜、真空焊接、电子束焊等、真空镀膜、真空干焊、真空包装工业、空间模拟、科研领域、医院负压系统、环保工业、电子工业、实验室、塑胶工业、一般机机械、玻璃、大理石、金属大型重物真空搬运等工业。