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低温等离子技术在消除有组织排放的油雾、烟雾、烟气等方面具有领先优势; 低温等离子体被称作除固态、液态和气态之外的第四种物质存在形式。等离子体是由电子、离子、自由基和中性离子组成的导电性流体,整体保持电中性。按离子的温度,等离子体可分为热平衡等离子体(热等离子体)和非平衡等离子体(低温等离子体)。在热平衡等离子体中,电子与其他离子的温度相等,一般在5000K以上;在非平衡等离子体中,电子温度一般要高达数万度,而其他离子的温度只有300—500K。
采用低温等离子体分解气体污染物时,等离子体中的高能电子起决定性作用。数万度的高能电子与气体分子(原子)发生非弹性碰撞,将能量转化成基态分子(原子)的内能,发生激发、离解、电离等一些列过程,使气体处于活化状态。电子的能量较低时,产生活性自由基,活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当电子平均能量超过污染物分子化学键结合能时,分子键断裂,污染物分解。
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