加工定制是
品牌prcbe
型号s系列
产品适用范围dc（直流）、rf（射频）、mmw（毫米波）测试
电源220v
外形尺寸724mm*606mm*610mm（w*d*h）
重量120kgkg
展开
prcbe 深圳展芯科技 s系列探针台
点我去除广告
产品应用：
dc（直流）、rf（射频）、mmw（毫米波）测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
产品特点：
1.超高性价比的全功能型探针台。
2.操作简易、操作效率更高——同轴操作机构（载物台和显微镜x-y移动基座）。
3.完整的系统配件，客户可根据需求将s系列配置为i-v/c-v测试系统、rf/mmw测试系统、高功率测试系统、光电器件测试系统等等。
技术指标
载物台(常规晶圆载物台）
尺寸
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质
不锈钢
平整度
≤±2.5μm
真空区域*
0，2"，4"，6"环形吸附（可选真空微孔吸附）**
真空控制
手动控制，独立真空区域
真空驱动方式
真空泵
载物台电性能
载物台信号导通，可选择接地或接信号
*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
**除环形吸附外，还可选微孔式吸附式载物台。
载物台移动基座
x-y轴行程范围*
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程。同轴结构。
精度
≤5μm
r轴粗调角度范围
360°
r轴细调角度范围
±9°
微调精度
0.0001°/deg
z轴细调行程范围
13mm
细调精度
1μm
z轴快升行程
0~6mm,可调
z轴往复精度
<1μm
载物台快速拖出行程
100mm
*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则x-y移动行程为12"*12"。
**载物台x-y为同轴结构，两操作旋钮为同轴一体结构，用户单手可方便操作。
探针座放置平台
材质
钢，表面沉镍处理
平台板尺寸*
可放置8个cm50或4个rf50探针座
平台板至载物台高度
1.496”(38mm)
探针座兼容性
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
z轴细调行程范围
45mm
z轴快升行程
350μm
z轴往复精度
<1μm
*此处为6"探针台可放置的探针座数量，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座
x-y轴行程范围
2"*2"(50mm* 50mm)，同轴结构
x-y轴精度
≤5μm
调焦行程
2"(50mm)
精度
1μm
z轴粗调行程
50mm
气动升降行程
40mm
光学系统
类型
金相显微镜、体视或单筒显微镜可选
光学放大倍数*
15x-2000x
*根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
其它信息
台体尺寸
724mm*606mm*610mm（w*d*h）
重量
120kg
设备环境要求
电源
220v±10%
真空
-8bar
压缩空气
0.6mpa
售后服务
2年质量保修期
除探针耗材外，展芯科技销售的产品质量保证期为货物签收之日起2年，在此期间若合同标的物出现质量问题，均由展芯负责维修或替换，但以下情况除外：1. 自然原因导致的产品质量衰退、精度下降；2. 人为或不可抗拒的自然现象而发生的损坏；3. 用户擅自进行的拆解、改装、功能附加或减除导致的损坏；4. 用户自行或经第三方维修导致的损坏。
免费终身维护
除探针耗材外，展芯科技销售的产品均可享受免费终身维护服务。