设备名称mocvd加热圈
品牌kete
型号465
用途mocvd加热系统加热体
产地湖南
交货期20天
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mocvd加热圈
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mocvd概述
mocvd(metal organic ch emical vapordeposition，金属有机物化学气相沉积)技术，又称omvpe、movpe等，是1968年由美国洛克威尔公司提出来的一项制备化合物半导体单薄膜的新技术。mocvd方法是将稀释于载气中的金属有机化合物与ⅴ族或ⅵ族元素的氢化物在被加热的外延衬底上进行分解并发生反应，反应后的生成物沉积到外延衬底上从而形成外延薄膜的一种技术，利用这种技术可以生长出纳米级的高质量薄膜，正是由于这个特点使得mocvd技术广泛的应用到半导体器件的生产与制造中[1]。这种技术现在已经成为iii-v、ii-vi族化合物半导体高质量器件多层结构生长的***灵活、成本***低、效率的技术，近几十年以半导体技术的进步为驱动力的it产业的快速发展，特别是新型半导体光电器件和微波器件的迅猛发展，巨大的市场需求以及mocvd技术的不断进步，使mocvd成为了需求巨大的半导体制造关键核心设备，也是光电子行业中***有发展前途的专用设备之一。该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机等多学科为一体，是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备[2]。目前mocvd设备已广泛应用于gan（氮化镓）系半导体材料的外延生长和蓝色、绿色或紫外发光二极管芯片、异质结双极晶体管（hbt）、高电子迁移率晶体管（hfet）、太阳能电池、场效应管（fet）以及光学探测器等半导体器件的制造与研究中，可见mocvd在半导体行业中具有着举足轻重的地位。