是否进口否
加工定制是
类型cse
适用领域电子行业
用途工业用
槽数cse
型号cse
品牌cse
展开
***终清洗机
点我去除广告
一、设备名称
南通华林科纳cse - ***终清洗机设备
二、设备用途
清洗槽用于6/8吋兼容，集成电路制造工艺的***终清洗。配合load and oad的上下料，实现干进干出，每批次50枚cassette type 的高效清洗。拥有三种工艺槽，三水槽+一个干燥单元：
1个dhf清洗槽、一个of槽、一个sc-1槽、一个qdr槽、一个sc-2槽、一个qdr槽、一个干燥槽。
三、设备功能
chemical bath：自动换酸。自动洗槽，自动槽内配比。
diw bath：pre flow and after change function。
s/d：6/8 inch 自动换位，旋干。
机械手臂：chuck open/close type，speed为可控变动；
schedule：排程计算，实现多批次同时清洗，不发生process over time。
safety：door，temp，level，exhaust…等等interlock safety。
四、设备工艺流程
进货区（load）→dhf（100:1）→of槽→sc-1槽→qdr槽→sc-2槽→ord槽→s/d槽→出货区（unload）
high wph type：awb200-t。双cassette 50枚/槽。
6/8 inch 兼容cassette type
前面式机械手臂arm-1、arm-2、arm-3共三套。
机台上部设有高效过滤器（ffu）。
五、工艺技术指标
设备应实现全自动作业，可自动过程控制工艺、冲水及干燥全套作业，并具备自动供液、自动洗槽、sc1-1槽带有兆生；可编程选择工艺槽及工艺时间进行清洗。
通过dhf/sc-1/sc-2完成***终清洗工艺，对圆片表面沾污及颗粒实现有效清洗。颗粒要求0.2um，0.16um作为参考，金属1e 10。
n2过滤精度：0.01μm。