高精度：由于线性滑轨移动时、摩擦力非常小，属于滚动摩擦、故只需极小的动力即可驱动床台、因为摩擦力小，故因摩擦所产生的热极小，相较于传统的滑动方式、可大幅降低运行轨道接触面的磨损，故可长时间维持高定位精度与行走精度、低磨损。

高刚性：由于滑轨与轨道采用四方向等负荷设计，故对于来自于各方向之负荷、都须具有足够的抵抗强度、且具备自动调心之能力、可允许较大的安装误差、使加工较容易，并可施予足够的预压量，已获得高刚性。

保养维护容易：相较于传统的滑动系统，均有对于运行的轨道面进行铲花或研磨的动作，因滑动所产生的磨耗、往往使得机台一段时间就必须重新铲花或研磨，旷日费时、且成本极高、若进行更换或维修极可回复机台之行走精度。